真空泵按工作原理分類(lèi)
發(fā)布時(shí)間：2017年05月18日 10:43 閱讀：4686
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真空泵是用以產(chǎn)生、改善和維持真空的裝置。按其工作壓強(qiáng)，可分為低真空泵、高真空泵和超高真空泵；按其工作原理，大致可分為下面兩大類(lèi)：
1.壓縮型真空泵。也稱(chēng)為排除型真空泵。其原理是將氣體由泵的入口端壓縮到出口端，并排出泵體外。例如，利用膨脹一壓縮作用的旋轉(zhuǎn)式機(jī)械真空泵、滑閥泵、羅茨泵等；利用氣體黏滯牽引作用的蒸汽流噴射泵；利用氣體擴(kuò)散作用的蒸汽流擴(kuò)散泵；利用分子牽引作用的分子泵等。
2.吸附型真空泵。也稱(chēng)俘獲型真空泵。其原理是利用各種吸氣作用將氣體吸附在泵體內(nèi)以達(dá)到降低氣體壓強(qiáng)的目的。例如，利用電離吸氣作用的離子泵；利用物理或化學(xué)吸附作用的吸附泵、低溫冷凝泵和吸氣劑泵等。在這類(lèi)泵中，氣體分子并不排出泵外，而是被永久儲(chǔ)存或暫時(shí)儲(chǔ)存于泵內(nèi)。
任何真空泵，在其工作時(shí)除了抽氣因素外，總是存在著與抽氣相矛盾的因素。例如，氣體經(jīng)壓縮后的反擴(kuò)散、氣體分子從表面的脫附等，這些現(xiàn)象稱(chēng)為真空泵的返流。只有在抽氣作用強(qiáng)于返流時(shí)，泵才能有效地工作。因此，每種泵都有自己的有效運(yùn)用壓強(qiáng)范圍及固有特點(diǎn)。設(shè)計(jì)、制造及運(yùn)用各種真空泵都是以加強(qiáng)抽氣作用、抑制返流為目的的。
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