往復式真空泵的主要部件是氣缸及在其中做往復直線運動的活塞，活塞的驅動是用曲柄連桿機構(包括十字頭)來完成的。除上述主要部件外，還有排氣閥和吸氣閥等重要部件，以及機座、曲軸箱、動密封和靜密封等輔助部件。

　　運轉時，在電動機的驅動下，通過曲柄連桿機構的作用(旋轉運動轉變成直線運動)，使氣缸內的活塞做往復運動。當活塞在氣缸內從左端向右端運動時，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強不斷降低，當左腔空間內的壓強低于被抽容器內的壓強時，根據氣體壓強平衡的原理，被抽容器內的氣體經過吸氣閥不斷地被抽進左腔，此時處于吸氣過程。當活塞達到最右位置時，氣缸左腔內就充滿了氣體。接著，活塞從右端向左端運動，此時吸氣閥5自動關閉，氣體隨著活塞從右往左運動而逐漸被壓縮。當氣缸內的氣體達到排氣壓力時，此時排氣閥被打開，氣體被排出，完成了一個工作循環(huán)。當活塞再從左端向右端運動時，重復上述循環(huán)，直到被抽容器達到某一平衡壓力為止。

　　往復式真空泵一般有立式和臥式兩種。立式泵從結構和性能上比臥式泵先進。

　　在往復式真空泵中，活塞環(huán)、吸氣閥和排氣閥是重要的部件且為易損部件，其質量的好壞直接影響泵的極限壓力、抽氣速率、功率消耗以及運行的可靠性。