摻氣機械真空泵的工作原理
發(fā)布時間:2016年09月01日 09:44 閱讀:4690
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澤德
摻氣機械真空泵又名氣鎮(zhèn)機械泵。通常被抽容器內(nèi)除了永久性氣體外,多少還存在著蒸氣,其中主要是水蒸氣,這些水蒸氣用普通的油封機械泵是抽不凈的,因為水蒸氣在常溫下(20℃)其飽和蒸氣壓為17.5乇,即使在真空泵的工作溫度下(約60℃)也只有150乇。當水蒸氣進入機械泵內(nèi)腔,受到壓縮至飽和蒸氣壓時,水蒸氣就開始凝結(jié),而這時排氣活門還沒有打開(因打開活門要超過大氣壓力時才有可能),水蒸氣排不出去。為了排除凝結(jié)的水蒸氣,可以在氣體被壓縮的地方摻進一定量的空氣協(xié)助打開活門,讓水蒸氣在尚未凝結(jié)之前就排出。這種帶有摻氣裝置的真空泵叫滲氣機械真空泵,它的結(jié)構(gòu)與普通機械泵基本相同,只是在靠近出氣口處的壓縮空間,在腔體上多開了一個小孔,并附有一螺旋來調(diào)節(jié)孔的大小,通過小孔不斷地摻氣,這樣被抽容器及泵體內(nèi)的水蒸氣就能和空氣同時排除出去了。因此裝有摻氣結(jié)構(gòu)的機械泵可以同時排除永久氣體和可凝性蒸汽。
但是加裝了摻氣結(jié)構(gòu)的機械真空泵卻使抽氣速率和極限真空降低。這是因為摻氣后泵的排氣過程延長,混合氣體被壓縮時的壓強很高,可能有較多的高壓氣體突破到吸氣空間去,從而使泵的抽速和極限真空下降(一般要降低一個數(shù)量級)。
在實際使用中,通常先打開泵的摻氣閥,當蒸汽排除后,即將摻氣閥關(guān)死。這樣既可抽除蒸氣,又不降低極限真空度。目前生產(chǎn)的旋片泵部分附有摻氣裝置。
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