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氣體捕集泵分為哪幾種類型?

發(fā)布時(shí)間:2016年08月23日 09:21   閱讀:4981   返回   來源:澤德
  氣體捕集泵是一種將氣體分子吸附或凝結(jié)在泵的內(nèi)表面上,從而減小了容器內(nèi)的氣體分子數(shù)目以達(dá)到抽氣目的的真空泵,有以下幾種類型:
  (1)吸附泵。主要依靠具有大表面的吸附劑(如多孔物質(zhì))的物理吸附作用來抽氣的一種捕集式真空泵。
  (2)吸氣劑泵。這是一種利用吸氣劑以化學(xué)結(jié)合方式捕獲氣體的真空泵,吸氣劑通常是以塊狀或沉積新鮮薄膜形式存在的金屬或合金。
  (3)吸氣劑離子泵。它是使被電離的氣體通過電磁場(chǎng)或電場(chǎng)的作用吸附在有吸氣材料的表面上,以達(dá)到抽氣的目的。
  (4)低溫泵。利用低溫表面來冷凝捕集氣體的真空泵,如冷凝泵和小型制冷機(jī)低溫泵。
 

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