渦輪分子泵優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)

由于渦輪分子泵在某些方面，要比低溫泵、離子泵和擴(kuò)散泵更有優(yōu)勢(shì)。所以在一般情況下，多選用渦輪分子泵。但是任何真空泵都有不足之處，渦輪分子泵也不例外。接下來(lái)將詳細(xì)介紹渦輪分子泵優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。

渦輪分子泵優(yōu)點(diǎn)

1、清潔，無(wú)油蒸汽返流

渦輪分子泵可不用任何阱，按操作規(guī)程工作，就能為被抽容器提供一個(gè)極為清潔的真空環(huán)境，且不含有任何 碳?xì)浠衔铩?/p>

2、使用方便

在許多應(yīng)用中，渦輪分子泵可不用高真空閥門或粗真空閥。只是簡(jiǎn)單地一按電鈕，泵便能開(kāi)始工作。從大氣 壓力可降至極限壓力。這種系統(tǒng)可以通過(guò)渦輪分子泵進(jìn)行粗抽，可一直加速到工作速度為止。

3、氣體輸送能力強(qiáng)

大多數(shù)渦輪分子泵對(duì)于輸送輕氣體的能力很強(qiáng)。因而它非常適于超高真空下的工藝操作。對(duì)于那些富氫的工藝過(guò)程，氦質(zhì)譜檢漏儀等場(chǎng)合均可得到應(yīng)用。

4、適于超高真空應(yīng)用

一臺(tái)密封和除氣良好的渦輪分子泵，配以性能良好的雙級(jí)旋片泵（或同樣性能的干式前級(jí)泵），其極限真空 一般可達(dá)到10-9——10-10Torr（即133.3——13.33nPa）之間。

5、高壓力下性能良好

有些渦輪分子泵的入口壓力可在10-1——10-3Torr（即13.33Pa——133.3mPa）之間運(yùn)行。在這個(gè)壓力范圍內(nèi) ，離子泵不能應(yīng)用，對(duì)于低溫泵需要節(jié)流抽速或經(jīng)常再生，對(duì)擴(kuò)散泵的工作也會(huì)變得不穩(wěn)定。

渦輪分子泵缺點(diǎn)

1、設(shè)備費(fèi)用高

考慮到擴(kuò)散泵系統(tǒng)需要閥門、擋板、阱、閥門控制器和管道等，總的花費(fèi)來(lái)計(jì)算，二者的差別也就不大了，在某些情況下，渦輪分子泵還是便宜的選擇。

2、對(duì)顆粒物或沉積物敏感

一旦出事故損壞就是嚴(yán)重的，不會(huì)有幾件回用的。重修、更換零件是很貴的。為了工作安全起見(jiàn)，在泵入口處裝上細(xì)孔眼的過(guò)濾網(wǎng)，以保護(hù)泵的正常運(yùn)轉(zhuǎn)。

3、噪音與振動(dòng)

從使用經(jīng)驗(yàn)來(lái)看，泵會(huì)出現(xiàn)振動(dòng)和噪音問(wèn)題，多半是軸承損壞和平衡性差所出現(xiàn)的問(wèn)題。

4、破碎問(wèn)題

有些用戶由于害怕轉(zhuǎn)子葉片破碎而不敢使用渦輪分子泵，破碎是在泵正常運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，葉輪突然遭到吸入異物或 軸承磨損而出現(xiàn)破碎的。

5、暴露大氣易引起事故

如規(guī)管破裂，入口處管道、閥門、密封出現(xiàn)問(wèn)題，都可能突然使真空泵入口暴露在大氣壓之下。不同型號(hào)的渦輪分子泵，耐大氣壓沖擊的能力是不同的。有些泵會(huì)因葉片共振彎曲相碰而損壞，但也有些泵受大氣沖擊而不損壞。

要想渦輪分子泵有較長(zhǎng)的工作壽命和最佳的運(yùn)轉(zhuǎn)性能，用戶一定要按操作規(guī)程和使用步驟進(jìn)行，應(yīng)該發(fā)揮它的優(yōu)點(diǎn)和盡量避免它的缺點(diǎn)。

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