影響擴(kuò)散泵運(yùn)用性能的主要因素
發(fā)布時(shí)間:2016年04月21日 09:23 閱讀:4548
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澤德
擴(kuò)散泵油和加熱功率都是影響擴(kuò)散泵性能的重要因素。
1.擴(kuò)散泵油
優(yōu)良的擴(kuò)散泵油應(yīng)具備下述性能:室溫下的飽和蒸氣壓強(qiáng)低,以提高泵的極限真空度;在加熱工作的溫度下具有高的飽和蒸氣壓,以得到高濃度的蒸氣;熱穩(wěn)定性、化學(xué)穩(wěn)定性及抗氧化性好;表面張力大,以減少爬遷;閃點(diǎn)和著火點(diǎn)高;價(jià)格低廉。
擴(kuò)散泵油主要有兩類(lèi):混合物油和單質(zhì)油。常用的混合物油多是石油烴類(lèi),是分餾正油產(chǎn)品得到的。這類(lèi)油制造容易、價(jià)格低廉,但飽和蒸氣壓較高,熱穩(wěn)定性、抗氧化性輻差,在工作過(guò)程中常裂解出輕的氣體成分,如H2及各種碳?xì)浠衔?,從而影響擴(kuò)散泵的極限真空。
單質(zhì)油有硅油及全氟聚醚等。硅油即有機(jī)硅樹(shù)脂,由人工合成,它具有低的飽和蒸氣壓、良好的抗氧化性及高溫穩(wěn)定性,甚至在大氣壓下短時(shí)間加熱到250℃仍不會(huì)裂解,并可逐漸恢復(fù)性能,繼續(xù)使用。全氟聚醚(又名福布林)的分子相對(duì)質(zhì)量很大,化學(xué)穩(wěn)定性、抗氧化性好,耐輻射、耐UF6腐蝕,在帶電粒子轟擊下僅產(chǎn)生氣態(tài)移質(zhì)而不形成聚合物,故可被抽走,特別適用于粒子加速器、電子顯微鏡、質(zhì)譜計(jì)等真空系統(tǒng)。
2.加熱功率
擴(kuò)散泵的運(yùn)用性能與加熱功率的關(guān)系。每一項(xiàng)指標(biāo)都有一個(gè)最佳的加熱功率值;且對(duì)于不同的氣體和工作液,這個(gè)數(shù)值是不同的。
在抽速方面,如果加熱功率小于最佳數(shù)值,則蒸氣流密度和速度不夠大,抽速??;如果加熱功率超過(guò)最佳值,蒸氣流邊層的湍流加重,同時(shí)油蒸氣分子分解形成的無(wú)規(guī)則運(yùn)動(dòng)嚴(yán)重化,也使抽速下降。對(duì)于質(zhì)量較小的氣體,需要較大的蒸氣流密度防止反擴(kuò)散,故抽速峰值移向較大功率處。
在極限壓強(qiáng)方面,當(dāng)加熱功率過(guò)大時(shí),油蒸氣分子熱分解,極限壓強(qiáng)上升,故有一個(gè)最佳加熱功率值。
臨界前置壓強(qiáng)與最大排氣率完全取決于定向蒸氣流的密度和速度,所以它們隨加熱功率單調(diào)上升。
顯然,對(duì)不同的氣體和工作液,擴(kuò)散泵的加熱功率不同。因此,擴(kuò)散泵的加熱功率在調(diào)試好后不應(yīng)隨意改變。
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