擴散泵的性能不僅取決于泵體設(shè)計和制造工藝,還很大程度上取決于擴散泵油的優(yōu)劣。
一般對擴散泵油的性能有如下要求:
(1)泵油的室溫飽和蒸氣壓要盡量低,一般要求小于10-6Pa,以利于提高極限真空;而泵油在沸騰時的飽和蒸氣壓要盡可能高,以利于能在較高的出口壓強下工作。這意味著油的飽和蒸氣壓應(yīng)當有一個較大的梯度。
(2)良好的熱穩(wěn)定性(在高溫下不分解),抗氧化性能好(突然接觸大氣,不會因過分氧化而影響泵油的性能),化學穩(wěn)定性好(無腐蝕,不易和金屬、氣體起反應(yīng)),無毒害,以保證職工的身體健康。
(3)表面張力大,以減少泵油的爬遷,降低返油率,同時,室溫下的黏度要合適。
(4)閃點(著火溫度)要高,沸點要低,氣化熱要小,這樣可以降低泵的加熱功率。
(5)泵油應(yīng)不含有水分、水溶酸、水溶堿、機械雜質(zhì)等。對各種氣體和蒸氣的溶解度要盡可能小,以保證有高的極限真空和縮短抽氣時間。
(6)價格低廉。
擴散泵油的種類
(1)礦物油。它是從石油中提煉出來的具有低飽和蒸氣壓的成分。
(2)有機酸酯類油。它的分子量很大,蒸氣壓低,但易氧化和水解,主要產(chǎn)品為奧克脫依耳(化學名稱為已癸二酸二乙酯)。
(3)硅油。它的飽和蒸氣壓低,熱穩(wěn)定性好,在300℃長時間加熱不會裂解,在200℃短時間同大氣接觸也不會氧化。同時,它的黏度隨溫度的變化也小。
(4)醚。它具有較低的飽和蒸氣壓,較大的表面張力,無碳氧化合物的污染,主要產(chǎn)品有聚苯醚。
從室溫飽和蒸氣壓,抗氧化性能,返油率,抽速等方面性能來看,擴散泵質(zhì)量從好到差的順序是:硅油、聚苯醚、C20烷基萘、酯類油、天然碳氧化合物(石油類)。