油擴散泵的清洗和換油的步驟
發(fā)布時間：2016年02月23日 09:43 閱讀：9515
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澤德
如果擴散泵太臟或者油變質(zhì)，都將延長達到正常工作真空度的時間，極限真空度也會惡化。這時必須清洗和換油，其步驟大致如下：
(1)拆下擴散泵，取出噴咀系統(tǒng)，盡可能將它拆成單個零件。
(2)倒出被氧化或劣化了的油(呈褐色)。
(3)用石油醚或四氯化碳清洗噴咀系統(tǒng)各零件及擴散泵內(nèi)壁。若油垢清洗不下來可用金屬擦膏，仔細擦凈(注意勿損壞金屬噴口)。泵上方的水冷擋板也應(yīng)洗凈。
(4)裝入干凈的擴散泵油。注意油量一定要合適(根據(jù)說明書)，太多或太少都會影咆抽氣速率。
(5)重新把擴散泵裝配起來。
換爐絲
擴散泵長期使用，其加熱器(電爐絲)變細，阻值增大，抽氣速率也會下降，這時妊須換上功率相等的合適的爐絲。
維持一定的電源電壓值
若擴散泵加熱器電源電壓下降，也會降低排氣效率，應(yīng)設(shè)法保證一定的電源電壓值。
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